マイクロダイアフラムポンプは、インレットとアウトレットノズルを備えたミニチュアバキュームポンプで、それぞれが排気ノズルを収容しています。ポンプ内の機械的メカニズムは、ダイアフラムを往復させ、入口に連続的な真空または陰圧を生成し、排気ノズルにわずかな陽圧を作ります。作業媒体は主にガスであり、ポンプはコンパクトなデバイスです。マイクロダイアフラムポンプは2つのモードで動作します。以下は、それらの作業原則を詳細に説明しています。
1.マイクロ電気ダイアフラムポンプは、電源としてミニチュアDCモーター（通常5V、12V、または24Vで動作する）を使用します。このモーターは、内部の機械的な偏心メカニズムを駆動し、それがダイアフラムを往復させます。これにより、固定-ボリュームポンプチャンバー内の空気が圧縮されます（圧縮すると、吸引ポートが閉じて排気ポートが開いているとわずかな正圧が生じます）（圧縮すると排気ポートが閉じて開いて負の圧力が発生します）。これにより、真空ポンプの吸引ポートと周囲大気圧の間に圧力差が生じます。この圧力差は、空気をポンプチャンバーに入れてから排気ポートから外します。
2。マイクロダイフラグポンプは、ネジの回転を使用して液体を吸引および放電します。マイクロダイアフラムポンプの中央のネジは、プライムムーバーによって駆動されるアクティブスクリューです。両側のネジは駆動されたネジで、アクティブネジの反対方向に回転します。アクティブネジと駆動型の両方のネジのスレッドは、double {-開始です。ネジの交差と、ネジとライナーの内側の壁の間の緊密なフィットにより、マイクロダイアフラムポンプの吸引ポートと排出ポートの間に1つ以上の密閉スペースが作成されます。ネジが回転してメッシュになると、これらの密閉スペースは真空ポンプの吸引端に連続的に形成され、吸引チャンバー内の液体を密封します。次に、液体を吸収端までネジの軸方向に沿って吸引チャンバーから連続的に押し込まれ、各空間に囲まれた液体は、糸が回転するとナットが連続的に前方に押し出されるように連続的に排出されます。これは、マイクロダイアフラムポンプの基本的な機能原理です。